聚焦毛细管在极紫外平行光管中的应用

<p> 采用聚焦毛细管将通用的极紫外光源引出法兰口之外,并控制光束发散角,以匹配平行光管孔径角。分析计算了直接用光源照亮靶盘的情形,光束不能充满有效主镜面上的直径;设计使用聚焦毛细管,使光束充满平行光管孔径角,并对极紫外平行光管有无毛细管两种状态进行测试。测试结果表明,采用聚焦毛细管后,扩大了光束的发散角,并且无毛细管的最大光子计数接近1&times;105个,加毛细管后最大光子计数能达到1&times;104个。测试数据说明极紫外聚焦毛细管的传输效率可以达到10%,能够满足极紫外平行光管的各项技术指标要求。</p

调平装置

本发明采用一种调节装置，解决了现有调平装置稳定性差，承载能力小，调节精度差等问题。该调平装置包括球面滑块组件、调节组件和锁紧机构；球面滑块组件设置在调节组件上方；所述锁紧机构设置有锁紧螺杆，锁紧螺杆上依次设置有球形螺母、六角螺母、锁紧球面上滑块、锁紧球面下滑块、定位块；所述锁紧机构贯穿球面滑块组件、调节组件中并通过定位块卡接在调节组件中

基于干涉图匹配的目标识别方法

本发明涉及一种基于干涉图匹配的目标识别方法，该方法包括以下步骤：1)建立期望目标干涉图数据库；2)获取待识别目标干涉图；3)将步骤2)所得到的待识别目标干涉图与步骤1)中已经建立的期望目标干涉图数据库进行识别处理，实现待识别目标的识别。本发明提供了一种识别速度快以及可对目标进行实施识别的基于干涉图匹配的目标识别方法