用气相色谱法测定半导体工艺中固、液、气相砷、磷及化合物的新方法

研究了一种快速、灵敏、可靠的高温氢还原-气相色谱分析方法,样品不需预处理,使气相色谱仪能直接测定固、液、气相样品中砷、磷及其化合物的含量.砷、磷的检测限分别为0.01mg/L和0.003mg/L.相对偏差分别为6.2％和8.6％,测定范围为10~(-5)～10~(-11),并与经典方法进行对比,结果一致

降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型

本文提出用185nm紫外线降低高压纯水中总有机碳（TOC）的能量传递光化学模型。计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系，从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法。根据理论计算出的结果和实验十分一致，主宰了本模型的正确性。使高纯水中的TOC由4200μg/l降至0.3μg/l，是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平

多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷

二氯硅烷的沸点只有8.3℃,常温下呈气体状态,用常规的方法取样和检测难度很大.用高温富氢还原的方法,使二氯硅烷中的磷还原为PH_3,用气相色谱法测定.并在炉口设计了锥形惰性气氛保护炉口装置,有效的防止了氢爆.保证测试安全并能连续进样、操作简便、省时.同时利用NaOH富集,解决了主体干优杂质的问题.方法灵敏、可靠、简便、灵敏度由0.1μg/1提高到0.04μg/1