DUAL SERVO XY STAGE USING LEAF SPRING GUIDE

본 발명은 마이크로스코프의 정밀 스캐닝 또는 파이버 정렬 등에 관련된 2축 운동을 위한 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 케이스의 내측으로 보조운동부와 판스프링을 대칭으로 배치하여 열적 특성과 안정적 운동을 보장하고 X 스테이지와 Y 스테이지를 같은 평면상에 구성하여 X , Y 방향외에 다른 방향의 기생운동을 방지하도록 하는 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지는 케이스의 내측에 대향하여 설치되는 X축 보조운동부들과; X축 방향에 수직하도록 상기 X축 보조운동부에 대향하여 설치되는 복수의 제1판스프링들과; 상기 X축 방향으로 인접한 내측의 상기 제1판스프링들 사이에 설치되며 내측공간을 갖는 X축 주운동부와; 및 상기 X축 주운동부의 일측에 인접하고 상기 케이스에 일측이 고정되는 상기 제1판스프링에 설치되며 상기 X축 주운동부의 일측에 접촉하는 X축 구동기를 포함하는 X 스테이지; 및 상기 X 스테이지의 X축 주운동부의 내측공간에서 대향하여 설치되는 Y축 보조운동부들과; Y축 방향에 수직하도록 상기 Y축 보조운동부에 대향하여 설치되는 복수의 제2판스프링들과; 상기 Y축 방향으로 인접한 내측의 제2판스프링들 사이에 설치되는 Y축 주운동부와; 및 상기 Y축 주운동부의 일측에 인접하고 상기 X축 주운동부에 일측이 고정되는 상기 제2스프링에 설치되며 상기 Y축 주운동부의 일측에 접촉하는 Y축 구동기를 포함하는 Y 스테이지로 구성된다

LONG RANGE STAGE OF 6 DEGREES FREEDOM USING DOUBLEH-FRAME

본 발명은 6축 운동을 하는 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 I형빔을 사용한 2중 H구조를 형성하여 초정밀 구동에 필요한 구동력과 온도 변화 및 힘의 불균형에 따른 변형을 견딜 수 있고 시스템의 안정성을 유지할 수 있도록 2중 H구조와 삼각형 대칭적 구조를 이용한 6축 운동 스테이지에 관한 것이다. 장행정 초정밀 구동과 빠른 응답을 갖는 시스템을 위하여 이중 서보 구조와 대칭적인 선형모터를 이용한다. 이중서보구조는 평면 단행정 운동을 위한 보이스코일모터(VCM), 피치와 롤 및 상하 단행정을 솔레노이드와 영구자석을 이용한 솔레노이드부 그리고 장행정 선형모터를 사용하며, 장행정과 단행정 사이에 기계적 제약조건이 발생되지 않도록 시스템을 구현하고, 두 구동부 사이의 상대거리를 근접센서를 이용하여 제어한다. 온도 변화에 따른 시스템 변형문제를 해결하기 위해 단행정 구동부는 대칭인 삼각형 구조, 장행정 구동부는 축대칭 구조를 갖는다.6축운동, 스테이지, H구조, I형빔, 단행정, 장행정, 자기회로, 솔레노이

3 AXES LINEAR MOTION STAGE USING FLEXURE MECHANISM

본 발명은 직선운동 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 X, Y, Z스테이지로서 상호 커플링이 없이 변위가능한 구조를 채택하고 정확한 직선운동을 수행하도록 대칭형 증폭구조 및 유연복합힌지구조를 갖는 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 직선운동 스테이지는 복수의 유연복합힌지구조를 갖고 일측에 제1구동부가 형성되어 일축방향의 직선운동이 가능한 X스테이지; 상기 X스테이지 상에 형성되며 복수의 유연복합힌지구조를 갖고 일측에 형성된 제2구동부에 의해 상기 일축방향과 수직인 축방향의 직선운동이 가능한 Y스테이지; 상기 Y스테이지 상에 설치되며 복수의 유연복합힌지구조를 갖고 일측에 형성된 제3구동부에 의해 상기 축방향들과 수직한 방향의 직선운동이 가능한 Z스테이지; 및 상기 X스테이지가 설치되는 스테이지 베이스를 포함하여 구성된다

Structured illumination confocal microscope with the use of cross-type linear structured illumination

선형(linear)의 광이 서로 수직 교차되는 조명광을 출사하는 광생성부, 상기 광생성부에서 출사된 광을 분리하는 빔스플리터, 상기 빔스플리터를 통과한 서로 수직 교차되는 조명광을 스캐닝 미러를 통해 스캐닝하고, 이를 대물렌즈를 통해 측정대상물에 조사한 후 반사 및 산란되는 광을 다시 전달하는 측정부 및 상기 측정부로부터 반사되는 광을 획득하여 대상물을 측정하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시편 또는 패턴의 회전 없이 한번에 조명하고, 복수개의 스캐닝 미러가 독립적으로 스캐닝함으로써 고속으로 영상을 획득할 수 있는 이점이 있다

MULTI POLE MAGNET ARRAY ASSEMBLING STRUCTURE USINGJIG

본 발명은 다극자석배열의 조립구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인접한 자석간에 강한 반발력이 발생하는 다극자석배열을 제작하기 위해, 각각의 자석을 고정하도록 턱이 형성된 지그에 자석을 삽입하여 구속하는 구성을 채택한 지그를 이용한 다극자석배열 조립구조에 관한 것이다. 본 발명에 따른 지그를 이용한 다극자석배열 조립구조는 판상이며 양측 가장자리에 중앙부분보다 작은 두께의 결합부가 형성된 복수의 자석; 상기 자석이 삽입되며, 상기 자석을 구속하기 위해 상기 결합부의 길이보다 같거나 작은 걸림턱이 형성된 복수의 지그; 일면에 상기 복수의 지그가 소정 간격을 두고 2열로 평행하게 배치되는 평판인 지지판; 및 상기 자석이 상기 지그를 이탈하지 않도록 하기 위해 상기 평행하게 배치된 지그 양 쪽 가장자리에 설치되는 고정부를 포함하여 구성된다

High precision displacement gauge and variabledisplacement measuring method used a unit displacementusing conforcal theory

본 발명은 다른 변위검출장치에 비하여 구성이 쉽고, 장비구현이 저가이며 탁월한 분해능을 가지고, 측정영역이 다른 측정장비에 비해 매우 큰 공초점원리의 단위변위센서를 이용한 초정밀 변위측정기 및 직선 또는 회전변위를 검출하는 변위측정방법에 관한 것이다.본 발명의 일실시예로서 광원으로부터 변위측정대상물에 광점을 투광하고, 투광된 광점의 이송량으로서 상대적 변위를 측정하는 기기로서, 광원으로부터 발산된 광선을 일정한 크기의 슬릿 또는 핀홀에 투광시키는 투광렌즈(26)와; 상기 슬릿 또는 핀홀을 통과한 광선을 평행시키는 평행광렌즈(28)와; 상기 평행광렌즈(28)와 변위측정대상물과의 사이에 배치된 대물렌즈(30)와; 상기 투광렌즈(26)로 반사된 광선을 파장별로 분할하는 광분할기(32); 및 상기 광분할기(32)를 통과한 광선의 광강도를 검출하는 광검출기(34)를 포함한 단위변위센서(20)를 구비하고, 상기 광검출기(34)로 검출되는 광신호가 항상 최대를 유지할 수 있도록 상기 단위변위센서(20)를 미세 이송시키기 위한 구동수단을 포함한 것을 특징으로 한다.변위센서, 격자, 공초점, 광분할기, 광검출기, 압전구동기, 회전변

Reflection and Fluorescence Hybrid in-vivo Confocal Laser Scanning Microscope for Bio-Medical Applications

본 발명은 생의학용 반사/형광 복합 in-vivo 공초점 레이저 주사 현미경에 관한 것으로, 공초점 레이저 주사 현미경에 있어서, 광원으로부터 출사되는 광을 시편에 조사한 후 시편에서 반사되는 반사 공초점 신호를 획득하여 시편 정보를 검출하는 반사 공초점 현미경, 광원으로부터 출사되는 광을 시편에 조사한 후 시편에서 방출된 형광 공초점 신호를 획득하여 시편 정보를 검출하는 형광 공초점 현미경, 상기 반사 공초점 현미경과 형광 공초점 현미경의 광 경로에 구비되어 진행하는 광을 가시광선 영역과 근적외선 영역으로 분리 및 반사시키기 위한 제 1이색거울; 및 상기 형광 공초점 현미경의 형광 여기(excitation) 파장과 형광 방출(emission) 파장을 분리 및 반사시키기 위한 제 2이색거울을 포함하여 구성되고, 시편으로부터 반사 공초점 신호와 형광 공초점 신호를 동시에 획득하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 반사 공초점 신호와 형광 공초점 신호를 동시에 획득할 수 있고, 부품의 공통 사용으로 부피, 무게 줄이고, 비용을 절감시킬 수 있는 이점이 있다

Linear actuator

본 발명은 직선운동을 필요로 하는 구동시스템이나 초정밀 2축 또는 3축 스테이지, 그리고 리소그라피 장비가 요구하는 3축 스테이지의 틸트 구동 시스템에 적용되는 선형구동기에 관한 것으로, 영구자석과 코일을 이용한 서브선형구동기와 이동 간격을 형성하고, 이동 간격에 형성되는 자속의 세기를 코일에 인가되는 전류의 량으로 변화시켜 자속의 밀도 차에 의한 직선 구동의 힘을 얻고, 구동 힘을 연결 축과 구동부의 틀어짐을 막으면서 직선 운동의 가이드 역할을 갖도록 원판을 사용을 하여 직선운동을 얻을 수 있도록 한 것이다.선형구동기, 영구자석, 리소그라피, 스테이지, 구동시스템, 원판 직선 가이

An Ellipsometer And Inclient Angle Alignment MethodUsing Thereof

본 발명은 반도체 박막의 물성을 측정하는 타원편광분석기에 관한 것으로, 방사방향으로 다수의 제 1홈(17)이 형성되고, 원주방향으로 제 2홈(18)에 형성된 반원형상의 메인 프레임(16); 상기 메인 프레임(16)의 중심영역에 설치되고, 3축방향으로 운동이 가능한 시편 스테이지(11); 상기 메인 프레임(16)과 접하는 면에 상기 제 1홈(17)에 삽입 가능한 두개의 제 1 볼(31) 및 제 2볼(32), 상기 제 2홈(18)에 삽입 가능한 제 3볼(33) 및 상기 메인 프레임(16)에 밀착되어 위치를 고정할 수 있는 밀착수단을 포함하고 편광이 조사되는 편광부(12); 및 상기 메인 프레임(16)과 접하는 면에 상기 제 1홈(17)에 삽입 가능한 두개의 제 1 볼(31) 및 제 2볼 (32), 상기 제 2홈(18)에 삽입 가능한 제 3볼(33) 및 상기 메인 프레임(16)에 밀착되어 위치를 고정할 수 있는 밀착수단을 포함하고, 시편 스테이지(11) 상에 놓인 시편의 상부면에서 반사된 빛을 수광하는 검광부(14);를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원편광분석장치에 의하여 달성된다.타원, 편광, 분석장치, 반도체, 박막, 기구학적 커플

Two lens fixing and evaluating device for opticalpickup focusing unit and its method

본 발명은 근접장 혹은 일반적인 광픽업의 헤드에 사용되는 광초점장치(FU; focusing unit)의 요소인 2군 렌즈의 조립 및 평가 장치에 관련된 것으로, 본 발명의 일실시예에 따르면 광픽업용 2군렌즈를 구성하는 제2렌즈(12)와 제1렌즈(11)의 조립위치를 결정하기 위한 장치에 있어서, 상기 제2렌즈(12)가 배치되는 장소를 제공하는 베이스(20)와; 상기 베이스(20)의 일측에 배치되어 레이저빔을 발생시키는 빔발생기(30)와; 상기 빔발생기(30)에서 투사된 빔의 진행방향에 배치되어 빔을 분할시키는 빔분할수단과; 상기 빔분할수단에서 분할된 어느 하나의 빔 진행방향에 배치된 참조거울(50)과; 상기 빔분할수단에서 분할된 다른 하나의 빔 진행방향에 배치되어 입사된 빔을 상기 베이스(20)에 고정된 제2렌즈의 광축(z)을 향하여 반사시키는 반사거울(60)과; 상기 참조거울(50)과 반사거울(60)로부터 되돌아오는 빔을 상기 빔분할수단을 통하여 받는 CCD카메라(70)와; 상기 반사거울(60)과 제2렌즈(12)와의 광축 진행선에 배치된 상기 제1렌즈(11)의 위치를 xy평면상으로 이동시키도록 상기 베이스상에 설치된 xy스테이지 구동기(100)와; 상기 xy스테이지 구동기(100)를 광축(z) 방향으로 조절하여 제2렌즈(12)로부터 이격된 제1렌즈(11)의 간격을 조절하기 위한 z축구동기(110)를 포함하고, 상기 제2렌즈(12)로부터 출광되어 반사된 빔과 상기 참조거울(50)로부터 반사된 빔과의 간섭작용에 의해 상기 CCD카메라(70)에 입력된 이미지 정보를 받아 위상정보를 해석하고 그 위상정보가 기준치 이내이면 양호한 조립평가의 결정을 내리고, 만일 기준치 이상이면 상기 xy스테이지구동기(100)와 z축구동기(110)를 구동제어하는 일련의 프로그램을 구동시키는 컴퓨터;를 포함한 것을 특징으로 한다.광픽업, 2군렌즈, 초점, 광원, 간