2-자유도 평면구동기와 마이크로 렌즈의 집적화에 관한 연구

학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기공학부,2000.Maste

(A)Study on developments and applications of novel notch-free and etch-hole-free processes on SiOG substrate for single crystak silicon comb actuator

학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2003.Docto