DC와 RF 마그네트론 스퍼터링 시 하전된 플럭스를 고려한 압력과 기판 바이어스가 박막 증착 거동에 미치는 영향

학위논문(박사) -- 서울대학교대학원 : 공과대학 재료공학부, 2023. 2. 황농문.최근 DC 및 RF 마그네트론 스퍼터링 공정에서 하전된 플럭스의 생성과 필름 증착에 대한 하전된 플럭스의 영향이 연구되었다. 따라서 하전된 플럭스 생성에 영향을 미치는 증착 파라미터를 DC 및 RF 스퍼터링 시스템에서 연구하였다. 특히, 플라즈마를 생성하기 위해 사용되는 아르곤(Ar) 압력과 기판 바이어스 하에서의 하전 거동을 연구하였다. 먼저, DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 은(Ag) 박막의 성장 속도, 결정도 및 비저항에 대한 스퍼터링 파워, 작동 압력 및 바이어스의 영향을 연구하였다. 박막은 20, 50, 100, 200 W의 스퍼터링 파워, 2.5, 5, 10, 20 mTorr의 공정 압력과 -300, 0, +300 V의 기판 바이어스 공정 조건 하에서 30분 동안 증착되었다. 모든 스퍼터링 파워에서 박막의 성장률은 양의 바이어스에 의해 증가한 반면, 음의 바이어스에 의해 감소하였다. 예를 들어, 스퍼터링 파워 100W와 공정 압력 2.5mTorr에서, 박막의 두께는 각각 -300, 0, +300V에서 346, 378, 416nm였다. 기판 바이어스 효과는 공정 압력이 감소함에 따라 두드러졌다. 바이어스에 따른 박막성장속도의 변화를 고려하면 음으로 하전된 플럭스의 양은 대략 10%로 추정된다. 공정 압력이 감소함에 따라 증착된 막의 결정화도는 양의 바이어스에 의해 증가한 반면, 네거티브 바이어스에 의해 감소하였다. 박막의 저항값도 같은 경향을 보였다. 은 필름의 증착 거동의 이러한 변화는 하전된 플럭스의 효과로 이해할 수 있다. 또한, RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 텅스텐(W) 막에 아르곤 가스 압력과 기판 바이어스가 미치는 영향을 조사하였다. 텅스텐은 일반적으로 반도체용 구리 배선을 대체하는 재료로 사용되고 있다. 실온에서 스퍼터링에 의해 증착된 텅스텐 박막은 상대적으로 저항이 높은 준안정 β상을 갖고, 특정 조건 하에서 상대적으로 저항이 낮은 안정한 α상으로 변환되는 것이 일반적으로 관찰되어 왔다. 20 mTorr 및 -100 V의 기판 바이어스 하에서 1초간의 짧은 증착 초기 단계에서, 투과 전자 현미경(TEM)을 사용하여 β상 텅스텐의 나노 크기의 입자를 관찰하였다. 그러나 동일한 압력 및 바이어스 조건에서 증착 시간이 10분으로 증가함에 따라 텅스텐 필름은 α상과 β상이 공존하였다. α상 텅스텐의 비율은 음의 바이어스가 -100에서 -200V로 증가함에 따라 더 증가하였다. 또한 바이어스가 +100에서 -100V로 변경됨에 따라 필름 밀도가 증가하고 표면 거칠기가 감소했다. 이러한 결과는 음의 바이어스가 β상에서 α상으로 텅스텐의 상을 변화시킨 것을 나타낸다. α상 텅스텐의 형성과 필름의 저항값에 대한 바이어스 효과는 압력이 증가함에 따라 더욱 두드러졌다. 또한, DC 스퍼터링 시 이온화율을 높이기 위해서 DC 마그네트론 스퍼터링 시스템에 유도 결합 플라즈마(ICP)를 설치하였다. 텅스텐 박막은 -200, 0, +200V의 기판 바이어스 조건에서 ICP 파워를 0에서 200W로 증가시키면서 증착되었다. ICP 파워가 증가하고 기판에 음의 바이어스가 가해질 때 α상 텅스텐의 성장이 향상되고 텅스텐 막의 저항이 감소하였다. 그러나 XRD(X-ray diffraction) 데이터와 비저항 측정 결과로부터 α상 텅스텐의 성장을 위한 최적화된 공정 조건이 있음을 알 수 있었다. 이 연구에서 가장 낮은 저항을 가지는 텅스텐 박막은 ICP 파워가 100W이고 기판 바이어스가 -200V일 때 얻어졌다.In recent years, the generation of charged flux during direct current (DC) and radio frequency (RF) magnetron sputtering and its effects on film deposition were studied. Thus, the deposition parameter that affects the generation of charged flux was examined in both DC and RF sputtering system. In particular, the charging behavior under the argon (Ar) pressure which is utilizing to generate plasma and the substrate bias were studied. First of all, effects of sputtering power, working pressure, and bias on the growth rate, crystallinity, and resistivity of Ag thin films deposited by DC magnetron sputtering were investigated. Thin films were deposited on the substrate under the electric biases of − 300, 0, and + 300 V for 30 minutes with sputtering powers of 20, 50, 100, and 200 W and working pressures of 2.5, 5, 10, and 20 mTorr. Under all sputtering powers, the growth rate of the thin film was increased by the positive bias, whereas it was decreased by the negative bias. For example, the film thicknesses were 345.7, 377.9, and 416.0 nm at − 300, 0, and + 300 V, respectively, at a sputtering power of 100 W and a working pressure of 2.5 mTorr. The bias effect was enhanced as the working pressure decreased. Considering the change of the film growth rate according to the bias, the amount of negatively charged flux was estimated to be roughly 10 %. As the working pressure decreased, the crystallinity of the deposited films increased by the positive bias whereas it decreased by the negative bias, which is indicated by the full width at half maximum (FWHM) determined by X-ray diffraction of the Ag (111) peak. The film resistivity had the same tendency. This change in the deposition behavior of the Ag film can be understood as the effect of the charged flux. In addition, effects of Ar pressure and substrate bias on tungsten (W) films deposited by RF magnetron sputtering were investigated. W is generally used as a material to replace copper interconnects for semiconductors. It is commonly observed that tungsten thin films deposited by sputtering at room temperature have a metastable β-phase with relatively high resistivity and transform into a stable α-phase with relatively low resistivity under certain conditions. In this study, to obtain W films with low resistivity suitable for interconnect materials for semiconductors, we tried to identify deposition parameters for the formation of α-phase W by varying the substrate bias and argon (Ar) pressure in an RF magnetron sputtering system. In the initial stage for 1 s of deposition under 20 mTorr and a substrate bias of –100 V, β-phase W nanoparticles were observed using transmission electron microscopy (TEM). However, as the deposition time increased to 10 min under the same pressure and bias condition, the W film became a mixture of α- and β-phases. The fraction of α-phase W increased further as the negative bias increased from –100 to –200 V. In addition, the film density increased and the surface roughness decreased as the bias changed from +100 to –100 V. These results indicate that the negative bias triggered the phase transformation of W from β to α. The bias effect on the formation of α-phase W and film resistivity became more pronounced as pressure increased. Furthermore, inductively coupled plasma (ICP) was installed in the DC magnetron sputtering system to increase the ionization rate during DC sputtering. W thin films were deposited at substrate biases of -200, 0, and +200 V with increasing the ICP power from 0 to 200 W. The growth of α-phase W was enhanced and the resistivity of W film decreased when the ICP power was increased and a negative bias was applied to the substrate. However, from the X-ray diffraction (XRD) data and resistivity measurement results, it is shown that there are optimized process conditions for growing α-phase W. The W thin film with the lowest resistivity in this study was obtained when the ICP power was 100 W and the substrate bias was -200 V.Chapter 1. Introduction 1 1.1. Non-classical crystallization 1 1.1.1. Theory of charged nanoparticles 2 1.1.2. Charge enhanced kinetics 3 1.2. Physical vapor deposition (PVD) 11 1.2.1. Sputter deposition 11 1.2.2. Direct current (DC) sputtering 14 1.2.3. Radio frequency (RF) sputtering 15 1.3. Purpose of this study 18 Chapter 2. Effects of Sputtering Power, Working Pressure, and Electric Bias on the Deposition Behavior of Ag Films during DC Magnetron Sputtering Considering the Generation of Charged Flux 19 2.1. Introduction 19 2.2. Experimental 22 2.3. Result and Discussion 25 2.4. Conclusion 33 Chapter 3. Effects of substrate bias and Ar pressure on growth of α-phase in W thin films deposited by RF magnetron sputtering 44 3.1. Introduction 44 3.2. Experimental 46 3.3. Results 48 3.4. Discussion 56 3.5. Conclusion 62 Chapter 4. Effects of ICP power on growth of low-resistivity W thin films deposited by DC magnetron sputtering assisted by ICP 75 4.1. Introduction 75 4.2. Experimental 76 4.3. Result and Discussion 78 4.4. Conclusion 81 Bibliography 88 Abstract in Korean 102박

Process-Genre Writing for EFL University Students

석사학위를 수여받기 위해 제출된 포트폴리오임;☞ 이 논문은 저자가 원문공개에 동의하지 않은 논문으로, 도서관 내에서만 열람이 가능하며, 인쇄 및 저장은 불가합니다.When students reach college level, they are often asked to do academic writing assignments which require them to have mastered the knowledge of good writing. Many Korean university students, however, struggle with writing in English due to an exam-based culture. English education in Korea is greatly influenced by the college entrance exam and standardized tests, classrooms focusing on grammar and receptive skills dominate in Korea (Choi, 2008). Since most students have primarily done writing to practice grammar at the sentence level in their high school English classrooms, writing tasks can be more demanding than the other language skills for these EFL students. In order to write effectively in English, students need to explore a variety of texts and models to understand how to use language patterns to accomplish coherent, purposeful prose (Hyland, 2003). Thus, this Textbook aims to help learners develop their writing proficiency through process and genre approaches with interactive writing tasks. This Textbook is intended for 20 university students at the intermediate-mid to high level (ACTFL). The class meets once a week for two and a half hours and most students have learned English in public schools and private institutes where listening and reading have been emphasized. During the semester (16 weeks), students will build basic knowledge to write appropriately in various genres and develop their writing proficiency. While students are exposed to a variety of different genres in this writing class, they will acquire linguistic knowledge such as grammar as well as contextual knowledge of target genres such as the purposes and functions of the text. The writing tasks for this course includes both academic writing tasks such as writing a persuasive text and a research report as well as real-world writing tasks such as writing a review and a travel itinerary. Throughout each unit in the Textbook, students will gain experience writing beyond the sentence level, and start building a foundation for extended writing.A. Plan 1 B. Outline 6 C. Textbook 9 D. Teachers Manual 48 References 6

A Study of the Effect of Sustainability Management on Organizational Performance in Public Sector Organizations

학위논문 (석사)-- 서울대학교 행정대학원 : 공기업정책학과, 2016. 8. 이수영.본 연구의 목적은 한국의 공공기관의 지속가능경영 활동이 조직성과에 미치는 영향을 실증적으로 분석하여 지속가능경영을 추진하는 공공기관의 지속가능 경영전략 및 성과 향상방안에 대한 시사점을 도출하는 것이다. 지속가능경영에 대한 초기 논의는 기업의 활동으로 인해 발생하는 각종 사회문제에 대한 반성적 차원으로 시작되었다. 이후 Global Compact 등 글로벌 이니셔티브를 통한 지속가능경영표준․규약 제정의 움직임이 가속화되면서 민간기업 뿐만 아니라 공공기관에서도 지속가능경영이 선언적 구호가 아닌 실질적인 경영이슈가 되었다. 최근에는 조직성과 달성에 주효한 경영전략으로서의 지속가능경영 패러다임이 주목을 받고 있으며, 공공・민간영역에서 지속가능경영 활동을 통하여 구성원의 조직몰입과 조직시민행동을 발현하고, 이것이 사회적 비용 감소로 이어지면서 조직의 생산성은 물론 청렴성을 제고할 수 있다는 연구결과가 지속적으로 보고되고 있다. 그러나 지속가능경영이 조직성과에 유의미한 영향을 미치지 않을 수있다는 연구결과도 공존하고 있다. 이는 지속가능경영이 단편적인 홍보수단으로 도입될 경우 긍정적인 성과로 이어지지 않는다는 현실적 고민을 투영하고 있다. 한편, 민간에 비해 공공기관의 지속가능경영에 대한 연구는 아직 미미한 수준으로, 최근 공공기관 지속가능경영 활동이 조직성과에 유의미한 영향을 미친다는 연구사례의 경우에도 내부 구성원의 인식적 측면에 접근한 경우가 대다수이므로 지속가능경영의 실질적 성과측정에 대한 의문이 여전히 남아 있다. 본 연구의 출발점은 지속가능경영의 당위성에 대비된 조직성과에 미치는 영향력에 대한 문제인식이다. 이에 따라 지속가능경영을 기관의 부수적인 활동이 아닌 전사적인 경영활동으로 전제한 지속가능경영 관리모형을 적용하여 동기-활동-피드백의 하위 차원으로 구분하여 각 차원별 조직성과에 미치는 영향을 분석하였다. 먼저 종속변수인 기관의 성과는 효율성, 효과성, 신뢰성에 미치는 영향으로 구성하여 다중회귀 분석을 시도하였으며, 각각 노동생산성, 고객만족도, 청렴도를 대용변수로 설정하였다. 독립변수는 지속가능경영을 전사 기업 활동으로 프로세스화한 관리모형 즉, 동기, 실행, 피드백의 3차원으로 분류하였다. 먼저 지속가능경영의 동기는 기관별 지속가능경영보고서 또는 홈페이지에서 표명한 지속가능경영 비전, 전략, 기관장 메시지 등의 내용분석을통해 성과 중심 동기, 이해관계자 중심 동기, 가치 중심 동기로 분류하였다. 지속가능경영 실행 수준은 지속가능경영과 관련된 공공기관 경영평가 항목인 리더십․책임경영․사회공헌․정부권장정책 점수를 활용하였다. 지속가능경영 피드백 여부는 기관이 지속가능경영 이슈와 관련, 이해관계자의 의견을 수렴할 수 있는 종합적인 커뮤니케이션 채널구축 여부로 구분하였다. 다중회귀분석 결과는 다음과 같다. 먼저, 지속가능경영이 효율성에 미치는 영향 분석 결과, 노동생산성에 유의미한 영향을 미치는 변수는 없는 것으로 나타났다. 성과 중심 동기에 따라 지속가능경영을 도입한 기관일수록, 지속가능경영 관련 경영평가 점수가 높고 지속가능경영 피드백 채널을 구축한 기관일수록 노동생산성이 높을 것이라는 가설이 모두 기각되었다. 둘째, 지속가능경영이 효과성에 미치는 영향에 대한 다중회귀 분석 결과,고객만족도에 유의미한 영향을 미치는 변수는 지속가능경영과 관련한 경영평가 점수로 나타났다. 이러한 결과는 기업의 사회적 책임활동이 고객만족도에 긍정적인 영향을 미치며 기업에 대한 평판과 신뢰 향상에 효과가 있다는 본 연구의 가설을 지지하였다. 다만, 지속가능경영 도입 동기 및 피드백 구축 여부는 고객만족도에 유의미한 영향을 미치지 않았다. 셋째, 지속가능경영과 관련한 경영평가 결과는 조직의 신뢰성에 유의미한 영향을 미치는 것으로 나타나 기관의 사회적 책임활동이 고객만족도에 긍정적인 영향을 미치며 기업에 대한 평판과 신뢰 향상에 효과가 있다는 연구결과를 지지하였다. 한편, 지속가능경영 동기와 피드백 구축에 대한 가설은 기각되었다. 본 연구가 제시하고자 하는 정책적 함의는 다음과 같다. 첫째, 지속가능경영 활동이 공공기관의 고객만족도와 청렴도 평가에 유의미한 정(+)의 영향력을 갖고 있다는 점이다. 지속가능경영과 관련한 경영평가 점수 항목은 리더십․책임경영․사회공헌․정부권장정책 부문으로 대다수 공공기관이 공익성을 실현하기 위하여 추진한 활동들이 조직의 주요한 성과로 반영되는 선순환으로 해석된다. 달리 표현하면, 공공기관의 지속가능경영에 대한 우려가 심각한 수준은 아님을 보여주는 대목이기도 하다. 만일, 지속가능경영이 초보적인 수준에 머물러 있다면 기관의 사회공헌 비용만 증가할 뿐 실질적인 성과로 이어지기 힘들 것이다. 이는 경영평가가 공공기관의 지속가능경영 이행 및 성과창출을 유도를 위한 실효성 있는 수단이 되기 위해 어떤 역할을 할 수 있는지 시사점을 제공하는 부분이기도 하다. 둘째, 본 연구는 기존 민간기업 및 공공기관의 지속가능경영, 혹은 공공기관별 지속가능경영이 단순비교 대상이 아니라 각각의 목적과 기능에 따라 차별화되어야 하는 이유를 제공한다. 민간기업의 경우 지속가능경영을 통한 효율성 증진 효과가 3가지 차원 즉, 사회적 비용감소, 조직구성원의 조직몰입과 만족도 제고로 인한 생산성 증가, 뿐만 아니라 기업 이미지 제고를 통한 매출증대로 시현되나 공공기관은 비용 최소화 관점 보다는, 사회의 편익 극대화를 지향하며 더욱이 공공기관이 제공하는 재화나 서비스 등의 수요 및 가격 경직성이 매우 높기 때문에 지속가능경영이 노동생산성 지표에 미치는 영향이 미미할 여지가 있다. 이는 공공기관의 지속가능경영이 효율성과 무관해도 된다는 의미가 아니라, 공공기관의 지속가능경영이 조직성과, 특히 효율성에 영향을 미치는 메커니즘이 어떻게 다른가에 대한 이해가 선행되어야 한다는 것을 시사한다. 셋째, 공공기관의 지속가능경영 도입 동기가 조직성과에 미치는 영향이 유의미하지 않으나 이것이 결과 확인으로만 끝나서는 안 된다는 점이다. 동기가 성과에 유의미한 영향을 미치지 않는 것으로 나타난 이유를 분석해보면, 공공기관의 경우 민간기업보다 다소 늦은 시점인 2000년대 중․후반을 시작으로 지속가 능경영이 확산되었는데, 이 때 공공기관이 지속가능경영을 도입한 동기가 스스로의 필요나 이해관계자에 대한 책임에 의한 것이라기보다는 모방적 동기가 강하게 작용하였을 가능성이 높고, 보다 근본적으로 공공기관의 지속 가능경영활동이 대동소이하다는 점도 분석과정에서 통제하지 못한 한계로 보인다. 넷째, 지속가능경영 피드백 구축 여부 또한 조직의 성과에 유의미한 영향력을 미치지 않은 것으로 나타났다. 이는 근본적으로 지속가능경영이 진정성 없이 형식화될 경우 오히려 조직성과를 저해하는 요인이 될 수 있다는 기존 논의의 우려를 간과해서는 안 된다는 것을 의미한다. 따라서 각 기관은 지속가능경영에 대한 이해관계자의 실질적인 피드백이 가능할 수 있도록 이사회 산하 위원회를 설치하는 등 방안을 강구할 필요가 있다. 공공기관의 사회적 책임, 또는 지속가능경영은 간혹 중복된 미션으로 비춰지기도 한다. 공공기관은 미션은 곧 책임의 위임에서 비롯되는 것이기 때문이다.그러니 선언적인 미션으로 공공기관의 책임이 완성되는 것은 아니다. 공공기관의 지속가능경영은 미션의 중복이 아니라, 미션의 무게가 더 무거운 것이다. 무거운 미션을 이행하기 위해서는 명확한 방향성을 내포한 지속가능경영의 전략과 이행, 열린 소통채널을 통한 환류가 필요하다. 이를 통해 기관 및 사회의 지속가능한 성장이 구현될 때 비로소 공공기관의 소명은 완성되어 갈 것이다.The purpose of this research is to empirically analyze the effects of public institutions sustainability management activities in Korea on the organizational performance and to derive implications for the ways to enhance the sustainability management strategies and performance of the public institutions that promote the sustainability management. The early discussions of the sustainability management began with the reflective perspectives on various social problems arising from the activities of the enterprises. Afterward, as the movement of the enactment of the sustainability management standards and regulations through global initiatives such as the Global Compact accelerated, the sustainability management became the practical management issue rather than a declaratory slogan not only in private enterprises but also in the public institutions. Recently, it has been continually reported that the sustainability management paradigm is receiving the spotlight as an effective management strategy to achieve organizational performance, and that the organizational commitment and the organizational citizenship behavior of the organizational members are realized through the sustainability management activities in the public and private sectors, and that this leads to the reduction of social costs and the enhancement of integrity as well as organizational productivity. However, there are also the research results that the sustainability management can have no significant effects on the organizational performance. This reflects the practical difficulties that, if the sustainability management is adopted as piecemeal promotion means, it does not lead to positive outcomes. Meanwhile, researches on the sustainability management of the public institutions are minimal, compared with the private enterprises, and since most of the recent research results that the public institutions sustainability management activities have significant effects on organizational performance have approached only the cognitive aspect of the organizations internal members, the measurement of the actual outcomes of the sustainability management is still doubted. The starting point of this research is the problem recognition on the effects of the sustainability management on the organizational performance compared with the appropriateness of the sustainability management. Accordingly, in this research, the sustainability management was divided into the subordinate factors of motivation, activities, and feedback by applying the management model of the sustainability management as enterprise-wide management activities rather than the organizations ancillary activities and the effects of each subordinate factor on the organizational performance were analyzed. First of all, the organizational performance, which is the dependent variable, is composed of the effects on efficiency, effectiveness, and confidence, and the multiple regression analysis was conducted, and labor productivity, customer satisfaction, and integrity in each were set as proxy variables. The independent variable was classified into the management model that processed the sustainability management into the enterprise-wide activities, i.e. 3 factors of motivation, implementation, and feedback. First, the motives of the sustainability management were classified into the performance-centered motive, the interested party-centered motive, and the value-centered motive through the analysis of the contents of the sustainability management visions, strategies, and organization chiefs messages that were stated in the applicable organizations sustainability management reports or homepages. To determine the sustainability management implementation level, the scores of the management evaluation items for public institutions related to the sustainability management – leadership, responsibility management, social contribution, government-recommended policies – were utilized. The existence or nonexistence of the sustainability management feedback in the organizations was determined by existence or nonexistence of the building of comprehensive communication channels in the organizations that can collect the interested parties opinions with regard to the sustainability management issues. The results of the multiple regression analysis are as follows. First, the results of the analysis of the effects of the sustainability management on the efficiency showed that there were no variables that had significant effects on the labor productivity. The hypothesis that the organizations that adopted the sustainability management in accordance with the performance-centered motives will have high evaluation scores of the management evaluation related to the sustainability management and the hypothesis that the organizations that have built the sustainability management feedback channels will have high labor productivity were all rejected. Second, the results of the multiple regression analysis of the effects of the sustainability management on the effectiveness showed that the variable that had significant effects on customer satisfaction was the scores of the management evaluation related to the sustainability management. These results supported the hypothesis of this research that enterprises social responsibility activities will have positive effects on customer satisfaction and will be effective in the enhancement of reputation and confidence in the enterprises. However, the existence or nonexistence of the sustainability management adoption motives and the existence or nonexistence of the building feedback channels had no significant effects on customer satisfaction. Third, it was found that the results of the management evaluation results related to the sustainability management had significant effects on the confidence in the organization, and this supported the research results that the organizations social responsibility activities are effective in enhancing the reputation and confidence in the enterprises. Meanwhile, the hypotheses about the sustainability management motives and the building of feedback channels were rejected. The policy implications that this research attempts to present are as follows. First, the sustainability management activities have significantly positive (+) effects on the evaluation of public institutions customer satisfaction and integrity. The management evaluation score items related to the sustainability management are leadership, responsibility management, social contribution, government-recommended policies and the activities promoted by most of the public institutions to realize public interests are interpreted as virtuous cycle in which they are reflected as major outcomes. In other words, this shows that the concerns about the public institutions sustainability management are not serious. If the sustainability management is in the rudimentary stages, only the institutions social contribution cost increases without leading to actual outcomes. This provides the implications of what roles the public institutions can play in order for the management evaluation to become an effective means to induce the public institutions sustainability management implementation and creation of outcomes. Second, this research provides the reasons for the existing private enterprises and public institutions or the sustainability management of each public institution to be differentiated according to their purposes and functions instead of becoming the simple objects of comparison. In the case of private enterprises, the efficiency enhancement effects through the sustainability management lead to increase in productivity and sales growth through corporate image promotion resulting from the 3 factors, i.e. social cost reduction, organizational members organizational commitment, and higher degree of satisfaction, but the public institutions aim at the maximization of social benefits rather than cost minimization, and the rigidity of demand for goods and services provided by the public institutions and of their prices is very high, and the effects of the sustainability management on the labor productivity indicators are likely to be minimal. This does not mean that the public institutions sustainability management has nothing to do with efficiency but imply that the understanding of how the mechanism in which the public institutions sustainability management has effects on the organizational performance, particularly on efficiency is different should take precedence. Third, the effects of the public institutions sustainability management adoption motives on the organizational performance are not significant but this should not end up merely with the confirmation of the results. The analysis of the reasons that the motives have no significant effects on the performance indicates that the sustainability management diffused in the public institutions in the mid and late 2000s, a little later than private enterprises, and the public institutions motives for adopting the sustainability management were highly likely to be imitative motives rather than for their own needs or responsibilities for the interested parties, and more fundamentally, the fact that the public institutions sustainability management activities are practically the same appears to be the limitations that cannot be controlled in the process of the analysis. Fourth, it was found that the building of the sustainability management feedback also had no significant effects on the organizational performance. This means that the existing discussions concerns that, if the sustainability management is a mere formality without authenticity, it can rather hinder the organizational performance, should not be overlooked. Accordingly, each organization needs to take such measures as establishment of the committee under the board of directors so that the interested parties feedback can be given to the sustainability management. The public institutions social responsibilities or the sustainability management sometimes can be seen as duplicate missions. It is because the public institutions mission begins with the delegation of responsibilities. But the public institutions responsibilities cannot be fulfilled by declaratory mission. The public institutions sustainability management is not the duplication of missions, but the weight of the missions is heavier. To fulfill the heavy missions, the strategies and implementation of the sustainability management containing clear direction and the feedback through open communication channels are needed. When the sustainable growth of organizations and society is realized through this, the public institutions will be approaching completion.제 1장 서론 1 제 1절 연구목적 및 필요성 1 제 2절 연구대상 및 범위 3 제 3절 연구문제 및 연구방법 5 1. 연구문제 5 2. 연구방법 6 제 2장 이론적 논의 및 선행연구 검토 7 제 1절 지속가능경영에 대한 이론적 논의 7 1. 지속가능경영의 개념 정의 및 발달 과정 7 2. 지속가능경영에 대한 이론적 관점 8 제 2절 조직성과에 대한 이론적 논의 12 1. 조직성과 개념의 발달 방향과 효율성 12 2. 효과성, 고객만족도 13 3. 공공성과 책임성, 청렴성 13 제 3절 선행연구검토 16 1. 지속가능경영의 동기 16 2. 지속가능경영 활동이 조직성과에 미치는 영향 18 3. 지속가능경영 공시 및 의견수렴 24 4. 선행연구의 의의 및 한계 25 제 3장 연구설계 28 제 1절 연구모형 28 제 2절 변수측정 및 자료수집 방법 29 1. 종속변수 29 2. 독립변수 32 3. 통제변수 36 제 3절 연구가설 및 분석모형 설계 38 1. 지속가능경영과 효율성(노동생산성) 39 2. 지속가능경영과 효율성(고객만족도) 41 3. 지속가능경영과 신뢰성(청렴도) 42 4. 분석모형 설계 44 제 4장 분석결과 및 논의 45 제 1절 각 변수의 기술통계 분석 45 1. 종속변수 45 2. 독립변수 47 3. 통제변수 48 제 2절 다중회귀분석 49 1. 개요 49 2. 다중공선성 진단 50 제 3절 분석 결과 및 해석 51 1. 지속가능경영과 효율성의 관계 51 2. 지속가능경영과 효과성의 관계 54 3. 지속가능경영과 청렴성의 관계 55 4. 결과의 해석 59 제 5장 결론 65 제 1절 연구결과의 요약 65 1. 지속가능경영과 효율성 66 2. 지속가능경영과 효과성 67 3. 지속가능경영과 신뢰성 68 제 2절 연구의 시사점 및 정책적 함의 69 제 3절 연구의 한계 및 향후 연구과제 72 참고 문헌 75 Abstract 84Maste