Detecting Errors in Korean Corpus based on GMM

In computational linguistics, a corpus is a large and structured set of language samples collected from real world text for a specific purpose. There are be various types of errors in the corpus because most corpus are built manually and/or semi-automatically and the errors are caused by human intervention. Such errors make corpus-based learning systems worse in performance. Many studies have therefore been conducted to detect and correct such errors in various ways and most studies have been done from pre-built corpus. Human intervention is, however, still required. In addition, error correction is not only very tedious as well as laborious and cost-expensive. In this paper, we propose a method for detecting corpus errors using GMM clustering algorithm. The purpose of this paper to detect errors under the small size of corpus. That is, the proposed method can be used in developing corpus by integrating into annotation tools. The proposed method consists of three steps. The first step is to make word embedding vectors of some error-prone context. The second step is to reduce the dimension of the vectors because clustering with a large dimension of vectors is time-consuming. The third step is to group the reduced vectors and to detect outliers as errors. For experiments, we have used two kinds of corpora: Korean dependency corpus and Korean semantic role labelling (SRL) corpus of which each one comprises only 1000 sentences. Our results show that the proposed method can serve as a error detector in early stage of corpus development. Our best results achieve recall of 65.15% for Korean dependency corpus and recall of 69.46% for Korean SRL corpus. In the future, we will do research on representing features for detecting errors and also on correcting errors as well as detecting errors. Motivated by the proposed method, we will start to investigate error detection in case that there is a large tagged corpus.|말뭉치란 특정 목적을 가지고 언어 표본을 추출한 집합을 의미한다. 이런 말뭉치에는 목적에 따라 다양한 종류가 있다. 대부분의 말뭉치는 사람의 수작업으로 구축되기 때문에 다양한 오류들이 포함되어 있으며, 오류가 포함된 말뭉치를 사용하는 시스템은 좋은 성능을 기대할 수 없다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 다양한 방법으로 오류를 탐지하고 수정하는 연구가 진행되었다. 하지만 대부분의 방법들이 이미 제작된 말뭉치를 학습하여 오류를 탐지하고 수정한다. 이러한 작업을 여러 번 수행하여야 하며 많은 비용이 소요된다. 이 문제를 다소 완화시키기 위해 본 논문에서는 GMM(Gaussian Mixture Model)을 이용한 군집화를 통해 오류 탐지 방법은 제안한다. 군집화는 비지도학습의 한 방법으로 표지가 부착된 학습데이터가 없거나 적더라도 오류 탐지를 수행할 수 있다. 따라서 이미 제작된 말뭉치가 아니라 말뭉치를 구축하는 과정에도 사용할 수 있다. 본 논문에서 제안하는 방법으로 수행된 오류 탐지를 검증하기 위하여 구문분석 말뭉치와 의미역 말뭉치를 사용하였다. 성능 평가의 척도는 정보검색에서 널리 사용되는 정밀도와 재현율을 사용하였다. 구문분석 말뭉치와 의미역 말뭉치에서 각각 65.15%와 69.46%의 재현율을 보였다. 이와 같은 결과를 바탕으로 제안한 모델을 사용하여 다양한 말뭉치의 오류 탐지를 수행할 수 있음을 알 수 있다. 재현율을 좀 더 향상시킬 수 있도록 자질 확장 등의 연구를 진행할 수 있을 것이다. 또한 말뭉치 구축 도구에 직접 적용하여 제안된 시스템이 얼마나 효율적인지도 평가할 계획이다.제 1 장 서 론 1 제 2 장 관련 연구 3 2.1 오류 탐지 3 2.2 GMM 알고리즘 6 2.3 차원 축소 10 2.4 한국어 구문분석 말뭉치 11 2.5 한국어 의미역 말뭉치 13 제 3 장 오류 후보 탐지 시스템 15 3.1 문맥 표상 16 3.1.1 구문분석 말뭉치에서의 문맥 표상 16 3.1.2 의미역 말뭉치에서의 문맥 표상 17 3.2 문맥 표상의 차원 축소 19 3.3 GMM을 이용한 말뭉치에서의 오류 탐지 20 제 4 장 실험 및 평가 24 4.1 실험 데이터 24 4.2 실험 결과 26 제 5 장 결론 및 향후 연구 30 참고문헌 32 감사의 글 38Maste

2014 KISTI 미래유망기술 10선 : 4D 프린팅

비매

강성 행렬의 기하

Thesis(master`s)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2007.Maste

(A) study for the activation of Korean non-governmental organizations in health care

국제보건학과/석사[한글] 전 세계적으로 비정부조직의 활동이 활발해지는 가운데 1980년대 이후 우리 나라에서도 비정부조직이 급성장하고 있다. 보건의료 분야에서 활동하는 단체들은 120여 개에 이른다. 이들은 대개 보건정책, 보건의료서비스, 의료교육 등의 사업을 수행하고 있다. 이 연구에서는 우리 나라의 보건의료 발전을 위해 비정부조직의 역할이 중요하다는 전제하에 이들 조직의 문제점을 파악하고 개선 방안을 제시하였다. 보건의료 분야의 비정부조직을 대상으로 설문조사와 사례연구를 한 결과 크게 회원, 조직, 재정, 사업의 측면에서 각각 다음과 같은 문제점이 재기되었다. 회원의 수가 적고 회원의 참여범위가 제한적이고, 조직의 규모가 적고 체계적이지 못하며 재정이 부족하다. 이러한 문제점들은 자연히 그 조직의 본연의 목표달성을 위한 사업의 위축으로 연결되는 실정이다. 이러한 문제점을 개선하고 비정부조직을 활성화시키기 위하여 회원확보, 조직구조 개선, 재정확충과 사업활성화 등의 방안을 제시하였다. 회원의 확보를 위하여 시민들이 공감하는 사명, 비전과 목표의 설정, 회원으로 참여하는 시민들에 대한 참여동기 유발 방안 개발과 적절한 홍보가 필요하다. 조직구조 개선을 위해서는 리더쉽의 확보와 사회저명인사의 참여 유도, 업무분장 체계화와 조직성원들에 대한 적절한 보상이 필요하다. 재정확보를 위해서는 회비의 확보, 후원금 조달 활성화와 기업 참여를 유도, 공공기금의 활용과 수익사업개발이 필요하다. 또, 시민들의 참여를 유도할 수 있도록 기부금에 대한 세제상의 유인책을 비롯한 각종 제도적인 개혁이 필요하다. 사업의 활성화를 위해서는프로그램의 개발, 국제적 비정부조직 및 유사 비정부조직들간의 연대 구축, 종교계, 학계, 연구기관, 언론계와의 연계방안 마련과 시민들의 보건의료 관련 요구에 대한 모니터링 체계 구축 등이 필요하다. [영문] Since 1980s, non-governmental organizations (hereafter 'NGOs') are growing rapidly in Korea, and there are nearly 120 NGOs in health care. These NGOs are working on the problems of health care policy, health care support and health education for the vulnerable social groups like elderly, poor people, and handicapped. This study is to investigate and identify these NGOs' activities and their problems to be solved, and also to suggest some ways for activating those organizations on the assumption that their role is very important in national health promotion. By a couple of method including a questionnaire survey to 86 NGOs (30 NGOs responded) and another depth interview survey to 3 NGOs in health care, a few problems in current NGOs were identified in the phases of organization structure, financial aspect, and activities. Most NGOs have problems in that the number and scope of participation as members is too limited to achieve their objectives, and also the financial capacity is too small and make the NGOs' activities shrinking. Here are suggested some ways to solve these problems and activate the NGOs in health care. There are including increase and expansion of the participating members, improvements in the organizational structure, fund raising methods, and so on. To increase the number of participation, NGOs need to develope more socially persuadable mission, vision, and goals, and advertise them effectively. For more fund-raising, the number of member should be increased, more public funds and businessmen induced, and the national tax system reformed. To activate NGOs' programs, some attempts are needed to develop solidarities with international NGOs, religious, academic institutes, and media. And also it's desirable to make monitoring systems to follow up people's needs on the health care problems.ope

Financialization of daily life and the making of investor subject after 1997 economic crisis in Korea

학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 사회학과, 2011.2. 송호근.Maste

A Critical Analysis on the Liberal Discourse in Korea, 1945~1970: focused on Sasanggye

학위논문 (박사) -- 서울대학교 대학원 : 사회과학대학 사회학과, 2021. 2. 정근식.이 연구는 한국 자유주의 담론의 특징으로 권위주의 정권에 항거해 정치적 자유를 요구하는 동시에 국가 개입에 의한 균분을 주장했다는 점에 주목했다. 이러한 특성은 국가를 필요악으로 간주하는 고전적 자유주의의 입장에서는 나올 수 없다. 서구에서 자유주의는 자유의 적을 새롭게 규정하면서 혁신되었다. 자유의 주적은 처음에는 국가였지만(고전적 자유주의), 20세기 초반에는 빈곤이었고(사회적 자유주의), 냉전에 접어들면서 공산주의로 변화했다(냉전 자유주의). 해방 이후 한국에서는 이 세 가지가 모두 강력한 자유의 적이었다. 그러나 빈곤으로부터의 자유를 위해 국가의 개입이 필요했고, 공산주의로부터 자유를 수호할 구심도 국가일 수밖에 없었다. 이에 따라 한국의 지식인들은 국가로부터의 자유를 주장하기보다 빈곤 탈피와 반공 투쟁을 수행할 수 있는 공정하며 강력한 국가를 요청하는 경향을 보였다. 강한 국가와 개인의 자유, 생존권을 조화시킨다는 구상은 정도의 차이는 있을지언정 이 시기 자유주의 담론에서 공통된 것이었다. 한국에서 자유주의는 서구적 근대화의 원리로 수용되었다. 그러나 일제강점기에 들어서면서 자유주의는 현실적인 의미를 갖기 어려웠다. 일제강점기에 자유주의는 지식인들의 교양으로만 존재할 수 있었다. 특기할만한 점은 일제강점기에 지식인들이 20세기 초반 영국에서 나타난 사회적 자유주의를 습득했다는 것이다. 영국의 사회적 자유주의는 고전적 자유주의가 한계를 보이면서 태동했다. 자유주의가 약속한 정치적 권리들이 보편화된 반면, 자유방임 자본주의가 불평등을 확대하면서 자유주의 정치세력의 입지가 약화되었다. 이를 극복하기 위해 개인의 기회 균등을 목표로 개인과 공동체, 자유와 평등의 조화를 도모하는 사상으로서 사회적 자유주의가 나타났다. 그것이 현실적으로 의미하는 바는 국가에 의한 재분배였다. 일제강점기에 지식으로서 수용되었던 사회적 자유주의는 해방 이후에 현실적인 국가 구상으로서 입지를 가질 수 있었다. 특히 자본주의와 공산주의 모두에 거부감을 가졌던 지식인들에게 사회적 자유주의는 절충적 이념으로 인식되었다. 특히 중간파 지식인들을 좌우, 남북으로 양극화된 정치지형을 종합할 수 있는 사상으로서 사회적 자유주의를 적극적으로 수용하고 소개했다. 해방 정국의 중간파가 견지했던 사회적 자유주의는 전쟁 후 『사상계』에서도 지속적으로 나타났다. 개인의 자유를 강조하기에 앞서 개인과 공동체의 상호의존성이 우선시되었고, 방향성있는 자유만이 긍정되었다. ‘진리’와 합치하는 자유만이 가치있는 것으로 평가되었다. 따라서 진리를 이해하고 있는 지식인의 역할이 중요했다. 『사상』과 『사상계』의 출발점 자체가 지식인에 의한 계몽 기획의 일환이기도 했다. 1950년대 『사상계』의 ‘자유’ 담론에서 가장 중요한 주제는 ‘경제’였다. 『사상계』에는 사회적 자유주의에 근거해 경제적 자유를 제한해야 한다는 주장이 지속되었다. 반면 경제적 효율성과 국가 권력의 축소를 위해 경제적 자유가 확대되어야 한다는 논의가 나타나기도 했다. 1950년대 후반 근대화를 위한 경제체제를 모색하면서 이들의 주장은 충돌하기도 하고 수렴되기도 했다. 『사상계』에서 개진된 경제체제론은 대체로 자유경제 체제의 확립을 위해 일정 기간 국가 계획이 필요하다는 방향으로 종합되는 양상을 보였다. 빈곤 탈피를 위한 국가 개입은 복지국가론에 의해 정당화되기도 했다. 물론 후진국의 입장에서 복지국가의 역할은 재분배보다는 개발에 있었다. 그러나 1960년대 총량적 경제성장이 경제적 종속과 불평등을 확대하는 방향으로 전개되면서 국가의 도덕적 책임을 요청하는 담론이 확산되었다. 생존권 보장을 요구하는 담론은 사회과학적 논리보다는 휴머니즘적 윤리에 바탕을 두고 있었다. 장준하를 비롯한 『사상계』 지식인들은 윤리적 견지에서 국가 개입을 요구했다. 서구에서 자유주의는 애초에 국가에 대한 저항 이념으로서 탄생한 것이었다. 그러나 한국에서 자유주의 담론은 국가의 권한 축소를 요구하기보다 권력의 도덕적 사용을 요청하는 경우가 많았다. 이는 한국의 자유주의 담론이 고전적 자유주의에 충실하기보다 사회적 자유주의의 영향을 받은 데서 기인한다고 할 수 있다. 지식인들은 국가 권력의 범위와 강도를 문제로 여기기보다 그것을 운영하는 통치자의 도덕적 자질을 중시했다. 박정희 정부에 항거하면서, 국가의 경제적 개입을 긍정하는 입장은 이러한 맥락에서 나올 수 있었다. 1963년 이래 『사상계』의 ‘자유’ 담론에서 가장 많이 언급된 개념은 ‘민주’였다. 『사상계』는 1963년부터 1970년 5월 “오적” 필화로 폐간될 때까지 자유민주주의의 복원을 위한 정권교체에 몰두했다. 『사상계』는 자유민주주의를 준거로 박정희 정부를 비판하고, 정권교체를 위한 동원을 촉구했다. 이 과정에서 자유민주주의는 정권교체와 동일시되기도 했다. 물론 자유민주주의 개념이 처음부터 정권교체와 연관되어 있지는 않았다. 자유민주주의는 논자마다 의미를 달리하는 모호한 개념이었다. 그러나 자유민주주의는 정치적 준거로서의 지위를 얻으면서 권위주의 정부에 대한 반대를 포괄하는 개념으로 사용될 수 있었다. 1963년부터 본격화된 『사상계』의 전환은 군사정부에 대한 장준하의 입장 선회와 그에 대한 박정희 정부의 공식적, 비공식적 탄압이 맞물리면서 증폭된 결과였다. 박정희 정부에 대한 입장차로 지식인들이 분화되면서 『사상계』의 담론은 지사적 지식인을 표방한 인사들에 의해 주도되었다. 이들은 국가로부터의 자유를 요구하기보다 정권교체를 통해 양심적 통치자가 국가를 장악하는 것이 자유민주주의 회복의 관건이라고 보았다. 박정희 정부를 악으로 규정하고 전면적인 투쟁에 돌입하면서 정권교체를 위한 동원과 참여는 종교적 정의를 실천하는 일로 의미 부여되었다. 반면 현대 국가가 공동체의 통합과 생활의 안정을 위해 방대한 기능을 수행해야 한다는 점에는 이의가 없었다. 문제는 국가를 운영하는 통치자의 양심이었다. 지식인들은 통치자의 자질이 높고 양심이 올바르다면 강한 국가가 오히려 더 많은 자유를 가져올 수 있다고 믿었다. 통치자의 성격에 따라 국가의 성격도 변화한다고 본 것이다. 따라서 국가 권력의 강도를 문제 삼기보다는 정권교체에 모든 명운을 걸었다. 강한 국가에 대한 열망과 정권교체에 대한 절박감이 공존했던 것이다. 1970년대 이전까지 한국 자유주의 담론의 또 다른 특징으로 언급할 수 있는 것은 엘리트주의라고 할 수 있다. 한국의 지식인들은 대중을 불신하면서 계몽과 동원의 대상으로만 간주하는 성향을 지속적으로 보였다. 자유주의를 지지할 부르주아 교양 시민의 부재를 지사적 지식인의 리더십으로 대체하면서, 대중의 역할은 그에 호응하는 것으로 한정했다. 이러한 엘리트주의는 집단적 목표에 자유주의가 종속될 때 나타나는 특징이라고 할 수 있다. 『사상계』는 지식인 리더십에 순종하는 주체를 형성하고자 했다. 지식인이 지시한 공공선을 지향하는 행위만이 ‘참된 자유’로 규정되었다. 『사상계』가 강조한 정신적 개조는 공공선에 대한 각성을 의미했다. 물론 공공선은 상황 맥락에 따라 변화했다. 레지스탕스, 후진성 극복을 위한 근로의욕, 정권교체 등 『사상계』는 국면마다 다른 초점을 가진 공공선을 제시했고, 대중들의 각성을 촉구했다. 『사상계』 지식인들은 엘리트주의적 관점에서 유순한 대중을 요구했다. 그러나 현실의 대중은 그러하지 않았다. 『사상계』는 정권교체의 당위성을 설파하는 데 주력했다. 그러나 『사상계』 지식인들의 자유주의는 지식인과 학생을 넘어서는 동원 논리로 확장되지 못했다. 이는 대중의 구체적 삶의 모습에 관심을 기울이기보다 자유의 방향성을 논하며 추상적인 계몽주의로 일관한 데 기인했다. 이러한 한계는 비판적 지식인들이 민중과의 합일을 시도하는 1970년대부터 조금씩 극복되어 갈 것이었다.This study focused on the distinct characteristic of the liberal discourse in Korea. Intellectuals who cherished liberalism protested against authoritarian rule and claimed fair distribution by state intervention at the same time. This characteristic could not be shown from the classic liberalism that regarded a state as a necessary evil. In the history of Western liberalism, ‘liberty’ was considered to be oppressed by states at first, by poverty in the early 20th century, and by communism after outbreak of Cold War. However, in Korea an authoritarian state, poverty and communism altogether threatened liberty just after the liberation from Japanese rule. A strong state was needed to fight poverty and communism. Korean intellectuals who favored liberalism desired to harmonize an impartial strong state with individual liberty and welfare. They thought that social liberalism(new liberalism) which originated from Britain would correspond to their idea. Social liberalism was accepted by some intellectuals in Japanese ruling period, but it could not has any real meaning in colonized Korea. But later on, it would be a realistic blueprint after Korean liberation. Especially, intellectuals who refused both capitalism and communism perceived social liberalism as an idea which compromise the Left and the Right, in other words, North Korea and South Korea. This project failed but social liberalism continued after Korean War. Intellectual discourse about social liberalism could be found on academic magazine Sasanggye which was published from 1952 to 1970. Writing articles for Sasanggye, they prioritized mutual interdependency of individual and community, and affirmed only valuable freedom that accorded with ‘veritas’. They regarded themselves as prophets and enlighteners for the public. In 1950s, an economic system was the most important issue of the liberal discourse in Sasanggye. Based on social liberalism, arguments claiming restriction on economic freedom continued. But some intellectuals asserted that economic freedom should be enlarged for economic efficiency and reduction of state power. These conflicting opinions gradually converged in late 1950s when intellectuals sought ways to improve Korean economic structure for modernization. They concluded that a state plan was needed for the construction of more efficient economy. The state plan oriented to fight poverty was justified also by social liberalism and welfare state theory. In Korea, as an underdeveloped country, the role of welfare state was defined as rather development than redistribution. However, as successful gross development caused inequality, intellectuals claimed that the state should guarantee existence right of the people. Intellectuals who resisted Park Chung Hee demanded the intervention of a moral state. It was social liberalism that affected intellectuals asking a moral state. They took a strong state for granted but criticized Park’s brutal morality. However, Sasanggye coterie tried to mobilize masses to achieve a turnover of political power. Liberal democracy was the criteria in the discourse of mobilization and criticism. Defiant intellectuals thought that an authoritarian ruler, Park must be removed for the restoration of liberal democracy. On the other hand, liberal democracy was needed for mass mobilization. There was an ambiguous consensus about what liberal democracy really meant, but it was regarded as the most urgent objective. Resisting Park’s long-term seizure of power, intellectuals regarded a political turnover as equivalent as liberal democracy. After Sasanggye intellectuals diabolized Park’s government, mobilization and participation for a political turnover was justified in religious mood. Yet, they had conviction that modern states should take massive roles for the integration of the nation and the welfare of individuals. Conscience and morality of the ruler mattered. They thought that the stronger the state was, the freer the individuals, under the moral government control. The nature of a state depended on the character of a ruler. Intellectuals had an aspiration for a strong state and a political turnover at the same time. That is the reason that Sasanggye coterie were absorbed in mass mobilization and indifferent to the intensity of state power.제1장 서 론 1 제1절 문제제기 1 제2절 선행연구 검토 6 1. 한국 자유주의 연구 6 2. 사상계 연구 10 제3절 이론적 자원 17 1. 담론의 지식사회학 17 2. 개념사와 관념사 21 제4절 연구 방법 24 1. 내용분석과 군집분석 24 2. 담론분석 26 제5절 연구 자료 소개 및 사상계 자료 검토 28 1. 자료 소개 28 2. 사상계내용분석 및 시기구분 30 제6절 분석틀과 논문의 구성 43 1. 분석틀 43 2. 논문의 구성 45 제2장 20세기 전반기 자유주의의 유입과 전개 47 제1절 20세기 초반 자유주의의 혁신: 사회적 자유주의 47 1. 자유와 자유주의: 소극적 자유와 적극적 자유 48 2. 영국의 사회적 자유주의 51 제2절 일제강점기의 자유주의 담론 58 1. 고전적 자유주의와 사회주의의 비판 59 2. 사회적 자유주의의 수용 61 제3절 해방 정국의 자유주의 담론 64 1. 냉전 자유주의 65 2. 사회적 자유주의: 신천지의 중간파 68 제3장 사상계의 경제적 자유론: 경제체제론에서 도덕적 책임론으로 75 제1절 1950년대 경제적 자유를 둘러싼 입장들 75 1. 휴머니즘적 자유론: 도덕적 평등주의 77 2. 사회민주주의: 자유경제론 비판 84 3. 민주당 신파의 자유경제론 89 4. 질서자유주의: 자유경제를 위한 국가 개입 96 제2절 경제계획론으로의 수렴 99 1. 4월혁명에 대한 인식: 후진성 극복의 계기 100 2. 4월혁명 이후의 경제체제론 106 3. 516쿠데타 이후의 경제계획론 112 4. 복지국가론의 개발주의적 변용 117 제3절 경제적 자유의 새로운 쟁점들 123 1. 경제 담론의 부차화 124 2. 한일협정과 자립경제론 126 3. 복지국가론으로부터의 탈피 128 4. 독점재벌 비판과 생존권 담론 131 제4장 사상계의 자유민주주의론: 전체주의 비판론에서 정권교체론으로 136 제1절 냉전 자유주의와 자유민주주의 137 1. 비판 담론으로서 냉전 자유주의 137 2. 4월혁명의 자유주의 담론 140 제2절 반공주의적 자유민주주의론 145 1. 한태연의 자유민주주의론: 자유민주적 기본질서 145 2. 박정희의 '진정한' 자유민주주의 149 제3절 혁신계의 자유민주주의 비판 154 1. 혁신계의 민주당 비판 154 2. 민족주의로 전유된 사회민주주의 156 3. 청맥의 반(反)자유주의적 민족주의 160 제4절 자유를 위한 동원, 동원을 위한 자유 165 1. 정치적 준거로서 자유민주주의 165 2. 자유민주주의와 정권교체론 168 3. 자유주의적 동원 담론: 4월혁명의 재현 173 4. 동원의 좌절과 대중에 대한 환멸 178 제5장 결론 182 제1절 연구 결과 요약 182 제2절 연구의 의의와 한계 185 부록: 의미연결망 분석 188 참고문헌 211 Abstract 222Docto

Two-Dimensional Numerical Study on the Rotating Stall in one-stage Axial Compressor

Maste

입구 경계층 두께가 축류 압축기의 손실 및 선회실속에 미치는 영향에 대한 연구

Docto

Molecular Dynamics (MD) study on the optimum conditions of cleaning nano particles

DoctorThis dissertation describes molecular dynamics (MD) simulation to predict the effectiveness of cryogenic aerosol nano-cleaning techniques by calculating mass transfer, energy transfer and momentum transfer associated with bullet particle generation and contaminant particle removal. This dissertation has four major themes.First, the growth rate of nano-sized particle in a gas environment was analyzed. Inert gas atoms or molecules which will be components of fragile nano-bullet particles (BPs) formed condensation nuclei, which transformed into nano-BPs by combining with surrounding gas molecules by condensation and evaporation during supersonic expansion. The results were presented in terms of a condensation (sticking) coefficient to determine which condition could be effective for growth of BPs through MD simulation using Ar atoms and N2 molecules. The calculated condensation coefficient was very sensitive to the instantaneous particle temperature, slightly sensitive to initial gas pressure, but independent of gas temperature. MD results agreed well with the kinetic model when the vapor pressure corresponding to the critical super saturation was used instead of the equilibrium saturation pressure. Simulations of two different type of solid particles and two different gas (Ar, N2) showed that the growth rate of homogenous nucleation was highest for Ar and lowest for N2 under the same conditionsthe growth rate of heterogeneous nucleation in which pure N2 gas molecules collided with a solid Ar surface was almost midway between the rates of homogenous nucleation for Ar and N2however, when the pressure ratio of Ar to N2 was 2:3, which is almost same as the ratio of critical super saturation pressure of Ar and N2, the average condensation rate of the mixture of two gases was higher than that of the homogenous nucleation for Ar. Second, the thermal accommodation coefficient of He atoms was calculated to analyze the cooling effect of He gas which is commonly used as the carrier gas in nano-cleaning processes. He atoms can increase the average velocity of BPs in a nozzle by reducing their average molecular weight, and can decrease the surface temperature of growing particles by colliding without condensing because He atoms can condense only at very low temperatures (5.2 K). In a simulation of solid Ar / N2 BPs in He gas, the amount of surface temperature (energy) removed from the particles by collision with one He atom was only changed by the average mass of the two colliding molecules regardless of thermal conditionsi.e., MD results agree well with theoretical predictions based on single interactions between free molecules.Third, the collision between the BPs and a contaminant particle (CP) adhered to a Si substrate was simulated to analyze the momentum transfer mechanism and the motion characteristics of particles. Immediately after collision, the velocity of the CP was increased by kinetic energy transfer from the BP, but decreased continuously thereafter due to attraction to BP fragments and to substrate molecules. CPs that were not removed from the surface showed only sliding motion on the substratein contrast, successfully-removed CPs first started to slide, then began to also roll, and then detached from the surface. Therefore, the sliding motion alone could not remove CPs from substratethe rolling mechanism seems to be necessary to remove them. Rolling of the CP only occurred when its initial acceleration exceeded a certain constant value. For a CP of a given size or adhesion energy, the acceleration of the CP increased as BP velocity and size increased, but was more strongly dependent on BP velocity than on BP size. The fraction of kinetic energy transferred from the BP to the CP was almost independent of the BP’s size (mass) and velocity, but was sensitively dependent on its rigidity, which was affected by its temperature and the static potential well depth energy of bullet molecules. Fourth, removals of CPs adhered to various shapes of substrate or from trenches were examined to check whether particle-beam cleaning techniques are feasible to clean components of semiconductors. MD simulations suggested that the required velocity of the BP for cleaning was almost 1.0 to 2.0 times as high as minimum velocity required for cleaning a flat substrate and was in an almost a feasible range in actual nano-cleaning experiments, although the behaviors of CPs were influenced by the shape of the substrate. Further, when the BP was much larger than the CP, cleaning efficiency decreased drastically. Therefore, a small BP removed CPs more effectively than did a large BP.이 논문은 나노세정과정에서 일어나는 전체적인 현상들을 세분화하여 질량전달, 열전달 및 모멘텀전달 현상을 시뮬레이션한 것이다. 이 논문은 크게 4가지 주제를 가지고 계산하였다. 첫 번째로는 주위 기체와 반응하여 성장하는 나노입자의 성장률을 연구하는 것이다. 세정 탄환을 만들 초기의 무극성 기체들이 초음속 유동에 의해 팽창하여 핵을 형성하고 그 주위의 가스들에 의해서 점차 성장하게 되는데, 이 과정을 아르곤, 질소 기체를 이용하여 어떠한 경우에서 입자의 성장률이 더 높은지 condensation coefficient (sticking coefficient)를 이용하여 분자동역학으로 비교해보았다. 그 과정에서 입자의 성장은 생성핵의 순간 표면온도에 따라 가장 크게 변하며 기체의 압력에 의해서도 변하는 것을 알 수 있었으나 기체의 온도엔 거의 무관하다는 것을 알 수 있었다. 초임계 압력을 도입하여 계산한 간단한 기체운동이론과 비교했을 때 MD에서 계산한 결과 값과 매우 일치함을 알 수 있었다. 또한 아르곤, 질소 고체 입자와 아르곤, 질소 기체 분자들을 이용하여 계산해본 결과, 아르곤에 의한 단일 핵생성이 같은 입자표면온도에서 가장 높은 응축률을 나타냈으며 질소에 의한 단일 핵생성의 경우는 매우 낮은 응축률을 보였다. 아르곤 핵 표면에 질소가스만 응축하는 이종핵생성의 경우는 앞의 두 단일 핵생성에서 보여준 값의 중간 정도의 응축률을 보여줬다. 그러나 아르곤과 질소의 초임계 압력 비와 동일하게 아르곤과 질소의 몰비가 2:3이 되도록 섞은 경우엔 단일 아르곤 핵생성보다 더 높은 응축률이 나타났다.두번째로 나노 세정에서 운반 기체로 잘 쓰이는 He의 냉각효과를 알아보기 위해 He의 thermal accommodation 개념을 도입하여 계산하였다. 보통 He은 분자량이 낮아서 다른 기체와 섞을 경우 노즐 내에서 생성되는 평균 탄환 속도를 높일 수 있으며 매우 낮은 온도에서만 (5.2 K) 응축이 일어 나기 때문에 다른 기체의 입자 표면에 충돌 시에 응축현상 없이 입자 표면 온도를 낮추는 효과를 줄 수 있다. 아르곤과 헬륨, 질소와 헬륨을 섞은 상황에서, 헬륨이 1회 충돌하여 뺏어가는 핵표면 온도(에너지)는 열적 조건에 관계없이 오로지 충돌한 두 분자 사이의 평균 질량에 따라 변하였다. 다시 말해서 두 자유 분자끼리의 단일 상호작용으로 예측한 이론 식과 비교해본 결과 MD 결과 값이 매우 일치하는 것을 알 수 있었다.세번째로 세정 과정에서 실리콘 위에 붙어있는 오염입자와 핵 생성 및 성장을 통해서 만들어진 탄환입자의 충돌을 전산모사하여 오염입자의 거동 및 운동량 전달을 살펴보았다. 충돌 시 오염입자는 두 입자의 충돌에 의한 모멘텀 전달에 의해서 초기 가속을 하며 그 이후엔 평판 및 탄환의 부서진 파편들에 의해서 생기는 인력에 의해 계속적으로 감속된다. 세정에 실패한 오염입자의 거동을 살펴보면 초기 가속 시점부터 최종 속력이 0이 될 시점까지 계속 평판에서 미끄러지는 운동 형태만을 보여줬지만 세정에 성공한 오염입자의 경우를 살펴보면 초기에만 미끄러지는 운동을 취하며 나중엔 회전이 일어나 결국엔 미끄러지는 운동과 회전운동이 병행하며 평판에서 떨어져 나간다. 즉 오염입자는 미끄러지는 현상만으로는 절대 평판에서 떨어지지 않으며 세정 시엔 반드시 회전이 일어나야 평판에서부터 떨어져 나갈 수 있음을 알 수 있었다. 이러한 회전이 일어날 수 있는 조건 (세정이 가능한 조건)은 오염입자의 초기 가속도가 어떤 일정한 값보다 높은 경우라는 것을 알 수 있었다. 같은 조건을 가진 오염입자를 제거 할 시 탄환의 크기와 속력이 커질수록 오염입자의 초기 가속도가 커져 잘 떨어지지만, 그 중에서도 탄환 속도가 가장 영향을 크게 주는 요소임을 알 수 있었다. 게다가 탄환으로부터 전달되는 오염입자의 최대 운동에너지는 탄환의 속도, 크기와는 전혀 상관 없이 오로지 탄환의 결합에너지(단단함)에 의해 결정되며 이는 탄환의 온도 및 기체 고유의 포텐셜 우물 깊이에 따라 변하는 값이었다. 마지막으로 실제 반도체 등에 세정 기술을 적용하기 위해서 다양한 평판의 형태 및 트렌치 내에서의 세정을 살펴 보았다. 평판이 어떠한 형태든 대부분의 경우 요구되는 탄환의 속도는 평판에서 요구되는 최소 속력으로 세정할 경우보다 1.0~2.0배이면 전부 떨어져 나가며 이는 실제 실험에서 계산되는 탄환속도 범위 내에서 충분히 제거될 수 있음을 의미한다. 또한, 탄환입자가 오염입자에 비해 매우 큰 경우엔 (탄환이 오염입자의 약 3배 이상 되는 경우) 모든 경우에서 세정효율이 급격하게 나빠졌다. 따라서 세정 시 작은 탄환을 쓰는 것이 큰 탄환을 쓰는 것보다 훨씬 유리하다는 것을 알 수 있었다