タングステンCMPにおけるスラリーの再生に関する基礎的研究

Chemical Mechanical Polishing (CMP) is essential for the manufacturing of recent high-performance electronic device. However, for the CMP process, huge amount of slurry is used, which is to be disposed after being used only once. From the viewpoint of reduction of environmental burdens, this study was made for exploring the possibility of recycling of slurry by focusing on the slurry used for Tungsten CMP. For that purpose, we collected the slurry used for polishing and then tried to reuse it for polishing again. As a method for evaluation, we made comparisons of removal rates between new slurry and recovered slurry. The results shows that when collecting the slurry during CMP, it contained the water remained on the surface of the polishing pad after conditioning, by which slurry was diluted and caused the reduction of removal rate of Tungsten film. However, it was found that when making polishing of Tungsten film using the slurry recovered without being diluted with water, the same level of removal rate as new slurry is obtained.textapplication/pdfdepartmental bulletin pape

Search for matter-dependent atmospheric neutrino oscillations in Super-Kamiokande

We consider ν_μ→ν_τ oscillations in the context of the mass varying neutrino (MaVaN) model, where the neutrino mass can vary depending on the electron density along the flight path of the neutrino. Our analysis assumes a mechanism with dependence only upon the electron density, hence ordinary matter density, of the medium through which the neutrino travels. Fully-contained, partially-contained and upward-going muon atmospheric neutrino data from the Super-Kamiokande detector, taken from the entire SK-I period of 1489 live days, are compared to MaVaN model predictions.We find that, for the case of 2-flavor oscillations, and for the specific models tested, oscillation independent of electron density is favored over density dependence. Assuming maximal mixing, the best-fit case and the densityindependent case do not differ significantly.journal articl

Study of Time-Dependent CP Violation in B0→J/ψπ0 Decays

journal articl

Pengaruh Jejaring Sosial Terhadap Kualitas Akhlak Peserta Didik di SMA Negeri 47 Jakarta Selatan

Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui bagaimana pengaruh jejaring sosial terhadap akhlak peserta didik di SMA Negeri 47 Jakarta Selatan. Adapun metode yang digunakan dalam penulisan ini adalah kuantitatif deskriptif korelasional. Penelitian deskriptif korelasional adalah penelitian yang dirancang untuk menentukan tingkat hubungan variabel-variabel yang berbeda dalam suatu populasi. Melalui penelitian tersebut kita dapat mengetahui seberapa besar hubungan suatu variabel terhadap variabel lain. Berdasarkan hasil perhitungan regresi diperoleh kesimpulan sebagai berikut: (1) Terdapat pengaruh yang signifikan antara jejaring sosial dengan kualitas akhlak peserta didik pada SMA Negeri 47 Jakarta Selatan. Berdasarkan hasil penelitian diperoleh rxy (yaitu = 0,65), yang berkisar antara 0,40- 0,70 berarti kolerasi positif antara variable X dan Variabel Y dan itu termasuk korelasi positif yang sedang atau cukup, maka dapat disimpulkan bahwa Ho ditolak atau Ha diterima. Hal ini menunjukkan bahwa hipotesis yang berbunyi ?Ada pengaruh yang signifikan antara pengaruh jejaring sosial terhadap kualitas akhlak peserta didik di SMA Negeri 47 Jakarta Selatan? diterima. (2) Besarnya kontribusi jejaring sosial terhadap kualitas akhlak peserta didik di SMA Negeri 47 Jakarta Selatan dapat dilihat dari koefisien determinasi (r2) yaitu sebesar 0,4225, yang berarti perubahan akhlak peserta didik terhadap jejaring sosial sebesar 42,25% dan selebihnya yakni 57,75 dipengaruhi oleh faktor lain di luar kajian penelitian ini. (3) Pengaruh yang ditimbulkan atas penggunaan jejaring sosial memberikan efek negatif terhadap kualitas akhlak siswa/I, dikarenakan jejaring sosial lebih dimanfaatkan untuk hal-hal yang tidak berguna bahkan membuat lalai terhadap Ibadah, waktu, dan juga kurangnya berinteraksi sosial dengan masyarakat. Tetapi jika jejaring sosial digunakan dengan Arif dan bijaksana, tentu akan menghasilkan pengaruh atau nilai yang positif

国内文献検索講習会 (平成20年度)

application/pdf51learning objec

柏崎周辺30km圏の植生 : 柏崎周辺の植生補遺

application/pdfapplication/pdfapplication/pdfapplication/pdfapplication/pdfBulletin of the Yokohama Phytosociological Society Vol.24boo